Январь 15, 2016

Механизм сверхточной наногравировки изобрели в России

Фото: spbdnevnik.ruВ совместном исследовании ученые из МФТИ, ИХФ им. Семенова, МГУ и ИПХФ создали механизм лазерного нанесения структур на стекло с разрешением в 1000 раз меньше диаметра человеческого волоса, передает ТАСС со ссылкой на сообщение пресс-релизе МФТИ.Уточняется, что такой метод позволит создавать на поверхности стекла структуры с разрешением менее 100 нанометров. Наногравировку используют для создания сверхточных схем в микрофлюидике: по созданным в стекле или пластике каналам может течь рабочая жидкость, соединяя различные части схемы.
 
Следующим образом выглядит  технология, разработанная российскими учеными: поверхность стекла облучается фемтосекундным лазером, излучение которого фокусируется с помощью стеклянной микросферы и оптической ловушки в нужную точку стекла. В этих местах на его поверхности образуются широкие бугорки, которые после обработки стекла щёлочным раствором уже превращаются в ямки с меньшими размерами и более чёткими контурами.
 
Разрешение или минимальный размер наносимой детали – это ключевой параметр любого метода гравировки. Чем оно выше, тем более сложные и точные структуры можно создавать, и тем интереснее эти структуры для технологии. Авторам работы удалось с помощью их подхода достичь хорошего разрешения - около 100 нанометров.
 
Для демонстрации возможностей метода на стекло была нанесена аббревиатура Института Химической Физики (ICP). Минимальная ширина кратера, полученного с помощью фокусировки фемтосекундного лазерного излучения, была равна 70 нм,  средняя ширина каждой буквы составляла 100 нм, а глубина – 20 нм.
 
Предложенный метод позволит достаточно быстро и дешево создавать сенсоры и микросхемы наномасштабов. Как говорят ученые, он намного дешевле и технологически проще своих конкурентов, и при эом позволяет наносить заданные с компьютера рисунки на поверхности стекла с приемлемым разрешением. Статью об открытии можно увидеть в журнале ACS Applied Materials& Interfaces.

Для добавления комментария заполните все поля формы: